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シランは，自然性，引火性の無色のガスである。
SEMI E133-0708 (technical revision)
from virgin substrates to fully patterned substrates
The test methods are based on capacitive type of touchscreen panels
減圧器は，制御されない場合，多数の人工的パーティクルを疑集，疑縮を通して生じ得ることが知られている。この生成を防ぐために，この仕様は200 bar (3000 psi) までの圧力において稼働するパーティクルカウンターを採用し，圧力逓減とそれに関連する問題に対する必要を無くしている。
D02000 - SEMI D20 - Terminology for FPD Mask Defect StdTpc-Chemical & Gas General Specifications シランは，自然性，引火性の無色のガスである。This Document defines defect terminology for FPD masks. By this Standard, it is intended that the concepts of terms which should be used at the technical conferences, business discussion, etc. are clarified and that standardization as to masks will be promoted. These terms apply to photomasks that are principally used in fabricating flat panel display. Referenced SEMI Standards (purchase separately) None. Revision History SEMI D20 0706 (Reapproved