E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양 Lang-Chinese (Traditional) 本文書は，溶剤に原料を溶解した液を含む「液体原料」（定義を参照）を保持するために使用される，金属製（例えばステンレス鋼）キャニスターに適用される。また，供給システムのin-situクリーニングに使用される溶剤用の容器にも適用される。

本文書は，溶剤に原料を溶解した液を含む「液体原料」（定義を参照）を保持するために使用される，金属製（例えばステンレス鋼）キャニスターに適用される。また，供給システムのin-situクリーニングに使用される溶剤用の容器にも適用される。

measured through the center point and an effective sheet resistance at least 1

SEMI MF1048-1111 (technical revision)

SEMI M45 — Provisional Specification for 300 mm Shipping System

This will facilitate comparison of test results among worldwide laboratories used for monitoring or qualifying PV polysilicon and other PV silicon materials

E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양 Lang-Chinese (Traditional) 本文書は，溶剤に原料を溶解した液を含む「液体原料」（定義を参照）を保持するために使用される，金属製（例えばステンレス鋼）キャニスターに適用される。また，供給システムのin-situクリーニングに使用される溶剤用の容器にも適用される。Global Physical Interfaces & Carriers Committee , 2009 9 4 Global Audits and Reviews Subcommittee . 1999 6 , 2007 11 . 2009 10 www. semi. org . , FOUP (open cassettes) (carrier) (AMHS) . AMHS (PI O) (control) (carrier) (handoff) ( ) . (carrier) SEMI E23 I O . (handoff), (handoff) , . (, AGV, RGV OHT AMHS ) (, ; ) (handoff) , (interbay) AMHS (, OHS ) (, OHS ) . AMHS (handoff) (carrier) I O . Figure 1 2 AHMS . (carrier) (handoff) I O : ( 6. 1) (carrier)