E01500 - SEMI E15 - Specification for Tool Load Port Revision:SEMI E15-95 - Superseded 本ガイドは130，90，65，および45 nm技術世代における走査型表面検査装置（Scanning Surface Inspection Systems（SSIS））の推薦仕様を提供するものである。シリコン上の局所光散乱（localized

本ガイドは130，90，65，および45 nm技術世代における走査型表面検査装置（Scanning Surface Inspection Systems（SSIS））の推薦仕様を提供するものである。シリコン上の局所光散乱（localized light scatterers （LLS））の数と大きさはシリコンウェーハの顧客によって指定され，検査証明書（Certificates of Compliance）に含まれる。シリコンウェーハサプライヤやその顧客は，これらのパラメータを，異なるメーカーの測定システムを使用するか，あるいは同じサプライヤでも異なる世代の測定システムを使用して測定することがある。したがって，そのような測定システムの種々の状況を標準化することにより，データ交換やデータ解釈を容易にし，適切な測定システムの調達を可能とすることができる。

SEMI MF1535-1015 (complete rewrite)

No useful figure capable of showing the arrangement of components for all microscope designs is available

2 dichloroethylene for which a need has been identified

For housings with removable filter cartridges

E01500 - SEMI E15 - Specification for Tool Load Port Revision:SEMI E15-95 - Superseded 本ガイドは130，90，65，および45 nm技術世代における走査型表面検査装置（Scanning Surface Inspection Systems（SSIS））の推薦仕様を提供するものである。シリコン上の局所光散乱（localizedNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Standard is intended to unify the interface between process inspection tools and automated wafer carrier transport systems while maintaining compatibility with human transport. This Specification deals with the