C03900 - SEMI C39 - Specification for Potassium Hydroxide Pellets Revision:SEMI C39-0699 - Superseded このスタンダードは，概念と動作からメッセージサービスに至るまでの解決法を提供する。しかしメッセージプロトコルは定義しない。

このスタンダードは，概念と動作からメッセージサービスに至るまでの解決法を提供する。しかしメッセージプロトコルは定義しない。

熱処理装置

by providing definitions

SEMI E116-0324 (technical revision)

Once present in clean facilities

C03900 - SEMI C39 - Specification for Potassium Hydroxide Pellets Revision:SEMI C39-0699 - Superseded このスタンダードは，概念と動作からメッセージサービスに至るまでの解決法を提供する。しかしメッセージプロトコルは定義しない。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 1 Purpose 1. 1 The purpose of this Standard is to standardize requirements for potassium hydroxide pellets used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards. Test methods have been shown