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SEMI MS5-0813 (Reapproved 0819)
本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年2月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年6月にwww
• Electrical Power
本スタンダードの目的は，材料もしくは装置に，危険な状態もしくは損傷の可能性をもたらすような隔離バルブの開閉を，防止することにある。
本ガイドは，集積回路（IC）用のウェーハおよびデバイスといった半導体ユニットを処理する任意のタイプの装置に適用できる。また，フラットパネルディスプレイ（FPD），太陽光発電（PV），マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS），高輝度LED（HB-LED），ハードディスクドライブ（HDD），またはその他のタイプの生産ユニットを処理する任意のタイプの装置にも適用し得る。用語によっては，集積回路のウェーハおよびデバイスの製造に特化している。
Operational Compliance Strategies for Hazardous Waste Disposal ElnTpc-Principles of Design SEMI MS5-0813 (Reapproved 0819)Course Description This course provides an overview of what an environmental compliance engineer scientist working in the semiconductor or wider electronics industry needs to know to maintain compliance for the hazardous waste program. This course primarily covers sites in the United States. It is designed for environmental professionals in the semiconductor industry, but has wider applicability to wider electronics and similar manufacturing sectors.