E08700 - SEMI E87 - キャリア管理（CMS）のための仕様 StdPbc-0219 本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box for

本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box for interfactory transport）について部分的に規定する。ウェーハを25枚収納できるが，物理容積が13枚ウェーハのFOUPとほぼ同じであるこの狭ピッチのボックスは，IC生産工場間のウェーハ輸送コストを低減することを目的とする。業界の現在の300 mm技術を活用するために，この狭ピッチのフロントオープニングボックスは，SEMI E62で規定されている13枚ウェーハ用のFIMSとインタフェースするものとする。

SEMI F32 — Test Method for Determination of Flow Coefficient for High Purity Shutoff Valves

from virgin substrates to fully patterned substrates

This Guide focuses on evaluating production

This Standard does not specify techniques to be used or how the fiducial marks are generated

E08700 - SEMI E87 - キャリア管理（CMS）のための仕様 StdPbc-0219 本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box forglobal Information & Control Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20123www. semiviews. org www. semi. org199920097 SEMI E15. 1300 mm AMHS ID Subordinate Document: SEMI E87. 1 0707 Provisional Specification for SECS II Protocol for Carrier Management (CMS) Referenced SEMI Standards SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E15. 1 Specification for 300 mm Tool Load Port SEMI E30 Generic Model for Communications and